ISBN: 9787121280221

出版日期: 2018-01-01

作者： （美）力伯曼，（美）里登伯格

裝訂： 平裝.無.316頁.26.

本書反映了等離子體物理相關領域最新的研究進展，深入闡述了等離子體物理和化學的基本原理。書中應用基本理論來分析各種常見等離子體源的放電狀態，包括計算等離子體參數及分析等離子體參數與控制參數的相關關係。
 
本書還討論了半導體材料的刻蝕，薄膜沉積，離子注入等低溫等離子體在材料處理方面的應用，具有實際參考價值。
 
全書共18章，內容包括等離子體的基礎知識、等離子體放電過程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放電、波加熱的氣體放電、直流放電、刻蝕、沉積與注入、塵埃等離子體，以及氣體放電的動理論等。

作者簡介
（美）力伯曼，（美）里登伯格

Michael A. Lieberman教授分別于1962年和1966年從麻省理工學院獲得學士和博士學位。1966年起執教于加利福尼亞大學伯克利分校電機系，從事等離子體方面的教學和科研。1971年獲得伯克利分校的傑出教學獎。Lieberman教授是APS，AAAS，IEEE，AVS和IOP會士，並曾於1999年獲得IEEE Plasma Science and Application獎，於2005年獲得von Engel獎，於2006年獲得APS的Will ALLIS獎。他是國際上公認的低溫等離子體領域權威人士之一，與Lichtenberg教授合著的本書也成為低溫等離子體領域廣泛使用的教材和科研用書。

Allan J. Lichtenberg教授于1952年從哈佛大學獲得學士學位，1957年從麻省理工學院獲得碩士學位，1961年從牛津大學獲得博士學位。1957年起執教于加利福尼亞大學伯克利分校電機系。Lichtenberg教授是國際著名的高溫等離子體、等離子體放電和非線性動力學領域的先驅，在相關領域發表了約150篇文章並撰寫多本著作，其中包括Phase-Space Dynamics of Particles，該書已有俄文譯本。