ISBN: 9787111735519
出版日期: 2023-10-01
作者： （美）廉亞光
裝訂： 平裝.部份全彩.214頁.26.
一本實用而優秀的關於半導體晶片理論、製造和工藝設計的書籍。
《半導體晶片和製造——理論和工藝實用指南》對半導體製造工藝和所需設備的解釋是基於它們所遵守的基本的物理、化學和電路的規律來進行的，以便讀者無論到達世界哪個地方的潔淨室，都能儘快瞭解所使用的工藝和設備，並知道使用哪些設備、採用何種工藝來實現他們的設計和製造目標。
《半導體晶片和製造——理論和工藝實用指南》理論結合實際，大部分的描述均圍繞著實際設備和工藝展開，並配有大量的設備圖、製造工藝示意圖和半導體晶片結構圖。
《半導體晶片和製造——理論和工藝實用指南》主要包括如下主題：基本概念，例如等離子設備中的阻抗失配和理論，以及能帶和Clausius-Clapeyron方程；半導體器件和製造設備的基礎知識，包括直流和交流電路、電場、磁場、諧振腔以及器件和設備中使用的部件；電晶體和積體電路，包括雙極型電晶體、結型場效應電晶體和金屬?半導體場效應電晶體；晶片製造的主要工藝，包括光刻、金屬化、反應離子刻蝕（RIE）、等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）、熱氧化和注入等；工藝設計和解決問題的技巧，例如如何設計幹法刻蝕配方，以及如何解決在博世工藝中出現的微米草問題。
《半導體晶片和製造——理論和工藝實用指南》概念清晰，資料豐富，內容實用，可作為微電子學與固體電子學、電子科學與技術、積體電路工程等專業的研究生和高年級本科生的教學參考書，也可供相關領域的工程技術人員參考。
作者簡介
（美）廉亞光
廉亞光先生是美國伊利諾大學香檳分校何倫亞克微納米技術實驗室的研發工程師。在他近20年的工作經歷中，他培訓了上千名學生使用半導體製造設備。在廉先生來美國之前，他在中國河北半導體研究所工作了13年。在研究所期間，他負責管理一條半導體加工線，從離子注入到封裝；與此同時，他還從事一部分積體電路設計工作。在半導體領域30多年的工作經歷，使得廉先生對製造工藝中的關鍵點有著深刻的理解，在理論和設備方面有著深厚的知識。
| Zone | Order Total (RM) | Delivery Fee (RM) |
|---|---|---|
| West Malaysia | Flat Rate | 6.00 |
| Zone | Items/Weight | Delivery Fee (RM) |
|---|---|---|
| East Malaysia | First 1.00 kg | 13.00 |
| Extra 1.00 kg | 5.00 | |
| Singapore | First 1.00 kg | 25.00 |
| Extra 1.00 kg | 5.00 | |
| Australia, New Zealand | First 1.00 kg | 159.77 |
| Extra 0.50 kg | 52.65 | |
| Austria, Denmark, Finland, Ireland, Switzerland, Russia | First 1.00 kg | 157.78 |
| Extra 0.50 kg | 34.31 | |
| Brunei, Cambodia, Laos, Mongolia | First 1.00 kg | 175.10 |
| Extra 0.50 kg | 87.14 | |
| Belgium,France, Germany, Netherlands, Spain, U.K | First 1.00 kg | 150.94 |
| Extra 0.50 kg | 30.46 | |
| China | First 1.00 kg | 96.44 |
| Extra 0.50 kg | 25.35 | |
| Bangladesh, Brazil, Iraq, Pakistan, Qatar, S.Arabia, UAE, Sri Lanka | First 1.00 kg | 118.52 |
| Extra 0.50 kg | 24.96 | |
| South Africa | First 1.00 kg | 118.52 |
| Extra 0.50 kg | 24.96 | |
| Philippines | First 1.00 kg | 91.42 |
| Extra 0.50 kg | 15.29 | |
| Canada, United States, Mexico | First 1.00 kg | 162.58 |
| Extra 0.50 kg | 35.90 | |
| Hong Kong | First 1.00 kg | 80.63 |
| Extra 0.50 kg | 29.06 | |
| India | First 1.00 kg | 113.30 |
| Extra 0.50 kg | 22.28 | |
| Indonesia | First 1.00 kg | 107.35 |
| Extra 0.50 kg | 24.87 | |
| Japan | First 1.00 kg | 112.97 |
| Extra 0.50 kg | 35.03 | |
| Macau | First 1.00 kg | 92.93 |
| Extra 0.50 kg | 13.82 | |
| Singapore | First 1.00 kg | 74.75 |
| Extra 0.50 kg | 21.49 | |
| Taiwan | First 1.00 kg | 94.42 |
| Extra 0.50 kg | 34.76 | |
| Thailand | First 1.00 kg | 94.10 |
| Extra 0.50 kg | 28.25 | |
| Vietnam | First 1.00 kg | 98.94 |
| Extra 0.50 kg | 14.34 |